산업부, 고압가스 배관 소재 등 가스안전분야 규제 완화

산업통상자원부는 반도체 산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제를 선정, 개선해 기업부담을 완화할 계획이라고 12일 밝혔다.

차세대 반도체 장비(EUV)의 국내 도입 시 걸림돌을 제거해 글로벌 경쟁력을 확보하고, 방호벽 설치기준 완화 등 반도체 공장 내 부지 활용도 제고 지원 등에 나선다는 방침이다.

우선 정부는 차세대 EUV장비의 국내 도입 허용기준을 개선한다. 산업부에 따르면 현재 신소재 재질 배관(슈퍼듀플렉스강)을 사용한 차세대 EUV 장비 개발이 완료될 예정이다. 하지만 신소재 배관에 대한 고압가스법령상 사용 규정이 없어 국내 도입이 불가능한 상황이다.

이에 따라 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관사용이 가능하도록 안전성 검토 후 가스상세기준 개정을 통해 국내 도입이 가능하도록 할 예정이다.

EUV 장비는 고압가스 배관 재질을 슈퍼듀플렉스 소재를 사용해 장비 효율성을 높인 것으로 평가된다. 방호벽 관련 다양한 설치기준이 허용되고 공장 내부 용기보관 기준도 개선된다.

대부분 반도체 공장은 바닥면이 얇은 경량화 된 복층건물 구조다. 현행 깊이 묻어야 하는 기존 방호벽 지주의 고정방법으로는 지주설치가 곤란하다. 방호벽도 두꺼운 콘크리트재질로만 설치 가능해 공장 증설에 어려움이 있다.

이 같은 상황을 반영해 가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에는 케미컬앵커 등 △다양한 지주설치방법을 허용하고 △방호벽도 기존 방호벽 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준을 마련해 반도체 공장의 공간 활용을 증대시킬 예정이다.

공장 내부 저장용 실린더캐비닛의 경우 공장 내부에 설치 시 설치장소의 지붕을 가벼운 불연 재료로만 사용해야 한다. 복층으로 공장증설 시 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 돼 하중을 견디기 어려워 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란한 실정이다.

이에 정부는 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성 검증 후 지붕을 가벼운 불연 재료로 사용하도록 하는 의무규정 면제 기준을 마련해 보다 쉽게 반도체 공장의 복층 증설이 가능토록 할 예정이다.