반도체 가스 라인에 적용할 극청정 부품 자립화 목표

일본산 등 해외 부품에 의존했던 반도체 가스 이송용 극청정 부품 자립화에 성공한 아스플로가 관련 과제 발표를 진행했다. 

10일 서울 LW컨벤션센터에서 진행된 2024년 금속재료 GVC 컨퍼런스 고청정소재 관련 발표에서 아스플로 성열주 수석연구원은 반도체 가스 이송용 극청정 부품 자립화 현황과 성과에 관해 설명했다.  

이날 진행된 발표는 수요업계의 니즈와 주요 금속재료과제 밸류체인 구축 성과를 알리기 위해 마련됐다.  
 

성열주 수석연구원은 아스플로의 소개와 함께 반도체 가스 이송용 극청정 부품 자립화 현황에 대해 설명했다. 해당 자립화 과제는 전략핵심소재자립화 기술개발사업으로 아스플로와 함께 고등기술연구원, 한국재료연구원, 한국항공대학교, 아이코어시스템즈코리아가 참여했다. 

성열주 수석연구원은 “국산 고청정 특수강을 활용한 반도체 공정용 극청정 부품개발 및 실증평가가 최종 목표였다”라며 “1단계는 소재 대체 기술 검증이며, 2단계는 반도체 공정용 소재의 부품 자립화를 실현하는 것이다”라고 말했다. 

이에 아스플로는 2020년~2021년 진행된 1단계에서 외산 고청정 소재를 활용해 극청정화 기술 검증 및 응용 부품을 개발했으며, 국산 고청정 소재를 활용한 응용 부품도 개발을 완료했다. 이와 함께 응용 부품 반도체 공정 실증 적용 실적도 확보했다.

아울러 2022년부터 2024년까지 진행한 2단계에서는 품질이 확보된 국산 고청정 소재를 활용한 응용 부품 국산화를 진행하고, 국산 소재로 개발된 응용 부품의 반도체 공정 적용을 목표했다. 이를 통해 국산 소재 기반 응용 부품을 반도체 기업에 등록해 자립화를 실현하겠다는 목표를 알렸다.

성열주 수석연구원은 “이전 대부분의 소재가 일본산이었으나, 과제를 통해 세아창원특수강 등급에 맞춘 튜브, 밸브, 필터 등을 개발했다”라며 “최종적으로 가스 라인에 적용할 수 있는 부품을 개발하려 했다”라고 말했다. 

이에 아스플로는 UHP급 극청정 강관 평가를 완료했으며, 레귤레이터 또한 국산화 소재를 통해 개발 및 평가 목표를 달성한 상황이다. 아스플로는 고가 소재인 금속분말을 통해 필터를 제작하고 있다고 부연했다. 

아울러 아스플로는 반도체 공정 및 장비용 부품소재 기술 독립을 통해 글로벌 공급자를 목표하고 있다고 밝혔다. 또한 360억 원대의 수입 대체와 수출을 목표하고 있다고 알렸다.  

한편, 아스플로 성열주 수석연구원은 과제 성과도 공유했다. 그는 “과제 시작 전 2019년 매출액 405억 원 대비 2023년 매출액은 868억 원으로 114% 증가했다”라고 밝혔다.