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다나까귀금속공업, 고성능 반도체용 루테늄 전구체 성막 공정 확립

다나까귀금속공업, 고성능 반도체용 루테늄 전구체 성막 공정 확립

  • 비철금속
  • 승인 2022.06.29 07:55
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기자명 엄재성 기자 jseom@snmnews.com
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2단계 ALD 공정으로 기판 산화 방지·고품질·낮은 저항의 극박막 구현

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